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1、隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,汽車、工業(yè)自動(dòng)化、導(dǎo)彈等領(lǐng)域?qū)铀俣葌鞲衅魈岢隽思苫?、微型化、高性能等要求,開(kāi)發(fā)各種新原理、新結(jié)構(gòu)、新功能的微型加速度傳感器已成為世界各國(guó)的研究熱點(diǎn)。真空微電子加速度傳感器是一種新型加速度傳感器,具有靈敏度高、體積小、抗輻射、低電壓等優(yōu)點(diǎn),在航空航天、導(dǎo)彈和汽車等領(lǐng)域都有巨大的應(yīng)用前景。信號(hào)處理電路是決定該類傳感器性能的一個(gè)關(guān)鍵因素,本文的目標(biāo)就是設(shè)計(jì)力平衡式真空微電子加速度傳感器的信號(hào)處理電路。 本文
2、提出的力平衡式真空微電子加速度傳感器的信號(hào)處理電路由電流檢測(cè)閉環(huán)控制電路和以89C51單片機(jī)為核心的數(shù)據(jù)采集和顯示電路兩個(gè)部分組成,其中電流檢測(cè)閉環(huán)控制電路包括I/V轉(zhuǎn)換電路、二級(jí)放大電路、濾波電路和反饋電路,數(shù)據(jù)采集和顯示電路包括電平轉(zhuǎn)移電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、單片機(jī)數(shù)據(jù)處理電路和LED數(shù)碼管顯示電路。本文的主要工作如下: 1、對(duì)力平衡式真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理和理論進(jìn)行分析。 2、設(shè)計(jì)了真空微電子加速度傳感
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