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1、本文論述了集成電路失效分析的方法,并針對(duì)不同類型的電路給出了具體的分析實(shí)例。文章內(nèi)容主要分為三部分,第一部分包含第一到第四章,主要講述集成電路失效分析所必備的基本知識(shí)。包括:主要失效模式和機(jī)理、分析設(shè)備和分析流程。第二部分和第三部分是文章的核心內(nèi)容,分別講述了存儲(chǔ)器電路和混合信號(hào)電路的分析方法。文章的主要目的是總結(jié)以存儲(chǔ)器電路為代表的數(shù)字電路的常用分析方法,并在此基礎(chǔ)上探索了數(shù)?;旌想娐返姆治龇椒?,透析兩種不同電路的差別給分析過(guò)程上帶來(lái)
2、的挑戰(zhàn)。 對(duì)于存儲(chǔ)器電路的研究主要是通過(guò)筆者所作的幾十個(gè)案例,從中將失效模式和失效機(jī)理的規(guī)律性聯(lián)系總結(jié)出來(lái),提出較為科學(xué)的分析流程并以具體實(shí)例加以說(shuō)明,目的在于提高分析這種類型電路的效率。對(duì)于混合信號(hào)電路,文章以模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC為例,探索了基于數(shù)字電路分析儀器的分析思路,指出了對(duì)電路功能理解和借助微探針技術(shù)的電路分析方法,并給出了一個(gè)具體案例的分析過(guò)程,目的在于提高分析這種類型電路的成功率。 實(shí)際工作的效果證明,論文所作
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