2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、多晶硅納米膜作為一種新興材料,在重?fù)诫s條件下較普通多晶硅薄膜具有更優(yōu)越的壓阻特性,其在壓力傳感器中的應(yīng)用卻沒有相關(guān)方面的研究報(bào)道。因此,本文在分析多晶硅納米膜的電學(xué)及壓阻特性的基礎(chǔ)上,將多晶硅納米膜應(yīng)用于壓力傳感器的力敏元件上,并制作出多晶硅納米膜壓力傳感器。
  在傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面,利用有限元分析方法,借助ANSYS軟件,對(duì)傳感器彈性膜片的應(yīng)變分布進(jìn)行分析,由分析結(jié)果確定多晶硅壓敏電阻在彈性膜片上的布局;并根據(jù)重?fù)诫s條件下多晶

2、硅納米膜電阻率較高的情況設(shè)計(jì)出了正方形的“胖”型壓敏電阻。在傳感器制作過程中,利用低壓化學(xué)氣相淀積法在表面有二氧化硅的硅襯底上生長(zhǎng)多晶硅納米膜,光刻形成多晶硅壓敏電阻后通過金屬引線連接構(gòu)成惠斯通電橋;硅片在各向異性腐蝕液中腐蝕形成硅杯結(jié)構(gòu),并與玻璃襯墊靜電鍵合,最終制成多晶硅納米膜壓力傳感器。利用實(shí)驗(yàn)室自行搭建的測(cè)試系統(tǒng)對(duì)多晶硅納米膜壓力傳感器的靜態(tài)性能進(jìn)行初步測(cè)試,在5V恒壓源激勵(lì)下,0~0.6MPa量程范圍內(nèi),傳感器芯片輸出靈敏度可

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