硅壓阻式壓力傳感器的溫度補(bǔ)償.pdf

1、非電量檢測中，壓力的檢測量最大，所以壓力傳感器的也是使用最為廣泛、技術(shù)更新最快的傳感器。特別是硅橋式壓阻壓力傳感器以其線性好、靈敏度高、體積小、便于集成等諸多優(yōu)點，是目前使用最廣泛的一種壓力傳感器。但是由于半導(dǎo)體材料的溫度特性，硅壓阻式壓力傳感器的輸出信號會隨著溫度的改變而受到影響，產(chǎn)生溫度漂移，溫度漂移的現(xiàn)象一直制約著硅壓阻式壓力傳感器的發(fā)展。
　　隨著國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，很多領(lǐng)域要求傳感器在各種極端環(huán)境下仍然能夠保持高度的精確度和

2、穩(wěn)定性。為了提高傳感器的應(yīng)用范圍和測試精確度，國內(nèi)外學(xué)者專心研究，提出了很多具有創(chuàng)新性的溫度補(bǔ)償方法，文章對目前比較流行的溫度補(bǔ)償方法做了分析比較，并且結(jié)合自己研制開發(fā)的硬件采集電路對三次樣條曲線插值的溫度補(bǔ)償方法做了驗證和改進(jìn)，提出了基于三次樣條插值的新的溫度補(bǔ)償方法，且實驗結(jié)果良好。
　　文章以硅橋式壓阻壓力傳感器為研究對象,在分析壓阻式壓力傳感器理論及原理的基礎(chǔ)上,對傳感器的關(guān)鍵性參數(shù)進(jìn)行了理論計算和探索性的研究。具體內(nèi)容包

3、括器件結(jié)構(gòu)設(shè)計、信號采集電路設(shè)計、單片機(jī)補(bǔ)償系統(tǒng)軟件設(shè)計以及溫漂實驗在內(nèi)的壓力傳感器一體化設(shè)計研究。論文主要研究工作如下：
　　（1）介紹硅壓阻式壓力傳感器的工作原理，討論了溫度漂移產(chǎn)生的原因。
　?。?）借助ANSYS有限元仿真軟件對傳感器彈性薄膜做了應(yīng)力的仿真,對薄膜尺寸及壓敏電阻做了理論分析，提出一種優(yōu)化傳感器感壓膜片設(shè)計的方案。
　?。?）根據(jù)總體設(shè)計要求研制一種高精度數(shù)據(jù)采集電路，介紹電路各個模塊功能，并對該