直流磁控反應(yīng)濺射制備TiO-,2-薄膜及氧敏特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、河北工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文直流磁控反應(yīng)濺射制備TiO薄膜及氧敏特性研究姓名：張毅申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：孫以材潘國(guó)峰20050101直流磁卒反肫溉剁制并T10。薄膜發(fā)毓敏特性研究PREPARATIONOFTi02THINFILMSBYDCMAGNETRoNREACTloNSPUTTERINGANDSTUDYoNoXYGEN。SENSlNGPRoPERTIESABSTRACTTherearethreecryst

2、allinephasesofTi02，includingruffle、anataseandbrookiteTrans—formationofcrystallinephasesOCCURSatacertaintemperatureandpressUReTi02thinfilmjSakindofveryimportantopticalfilmwhichhas11ightransmissionrateandrefractionrateinvi

3、siblelightareaTiO，canserveasmanykindsofsensorsItcanbeusedasnotonlyhumidityandpressuresensingsensors，butalsoidentifyingmanykindsofgases，mostlyoxygenThispaperstudysonTi02oxygen—sensingthinfilmswhicharedepositedbyDCmagnetro

4、nreactionsputteringTi02thinfilmsarepreparedundertheconditionofbackgroundvacuum2410。Pa，sputteringvoltage420V，spunefingcurrent03A，oxygenpartialpressure017Paandsputteringtotalgaspressure15PaThecrystalstructureisamorphismwhe

5、nTiO，thinfilmsarenotannealed；anatasewhenannealedat3000C：coexistenceofanataseandrutilewhenannealedat600。C：completelyrufflewhenarmealedatl000。CForthesampleannealedat10000Csensitivityincreaseswfthgrowthofoxygenpartialpressu

6、reataconstanttemperatureThehigheriStheworkingtemperatURe、thesloweristhesensitivityincreasingSensitivityincreasingwithoxygenpartialpressureiSthefastestandaveragesensitivityiStllehighestat2000CWhenoxygenpartialpressurerati

7、ois0405、O576andO692theactivationenergyisrespectivelyO391eV、0449eVand0498eVbycalculationTheresultsofactivationenergyare10werwhichilluminatesthatthetemperaturestabilityoftheTiO，oxygensensingthinfilmisimprovedtoacertainexte

8、nt’Fheconductiveinfluencefactoroftheoxygen—sensingthinfilmiSmorecomplicatedni未)，n14mand■；coexistandallplayaroleintheformationof’conductionmechanism；operationofn蒜isthernostsignificantTheoxygen—sensingpropertiesofthesample

9、sarebetterunderthepreparationconditionofthelower眠／PA，andthemoreoxygenpartialpressureThesamplesannealedat1000。Caremoresensitivetooxygenthmrthoseannealedat600。CWeconsiderthatthehigheramaealingtemperaturecanfacilitatethefor

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