已閱讀1頁(yè)，還剩54頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、在材料科學(xué)的各個(gè)分支中，薄膜材料科學(xué)的發(fā)展一直占據(jù)了極為重要的地位。TiO2,ZnO薄膜具有優(yōu)良的介電、壓電、氣敏和光催化等功能，在微電子、光學(xué)、傳感器和光催化等方面有著重要的應(yīng)用。 分別以高純金屬鈦、鋅為靶材，氧氣為反應(yīng)活性氣體，采用射頻磁控濺射法制備金屬薄膜以及以射頻磁控反應(yīng)濺射法沉積金屬氧化物薄膜，對(duì)制備的金屬薄膜在不同的溫度下空氣氣氛中進(jìn)行熱處理，開始反應(yīng)生成各自的金屬氧化物。對(duì)以射頻反應(yīng)磁控濺射法沉積金屬氧化物薄膜在馬
2、弗爐中不同溫度下加熱進(jìn)行退火處理。 沉積的金屬鈦薄膜在馬弗爐中加熱，易向金紅石相的。TiO2薄膜轉(zhuǎn)變，而沉積的非晶氧化鈦薄膜在退火條件下容易向銳鈦礦相轉(zhuǎn)變。金屬鋅薄膜在馬弗爐中加熱反應(yīng)后生成纖鋅礦相氧化鋅薄膜，但是薄膜表面比較疏松起翹。 采用紫外-可見分光譜測(cè)試TiO2、ZnO薄膜的透射率，研究氧氣流量、退火溫度對(duì)薄膜透射率的影響；以掃描電鏡考察氧氣流量變化對(duì)TiO2、ZnO薄膜表面形貌的影響；以拉曼光譜(Raman)和
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 磁控濺射法制備TiO-,2-薄膜及其性質(zhì)研究.pdf
- 射頻反應(yīng)磁控濺射法制備TiO-,2-薄膜及其性能研究.pdf
- 磁控濺射法制備光催化TiO-,2-薄膜的研究.pdf
- 磁控濺射法制備ZnO薄膜.pdf
- 射頻磁控濺射法制備ZnO薄膜及其性能研究.pdf
- 磁控濺射法制備氮摻雜的TiO-,2-薄膜及其光學(xué)性能研究.pdf
- 磁控濺射法制備ZnO薄膜及特性研究.pdf
- 磁控濺射法ZnO薄膜及ZnO-TiO2復(fù)合薄膜的制備研究.pdf
- 反應(yīng)磁控濺射法制備玻璃基TiO-,2--TiN-TiO-,2-復(fù)合多層薄膜的研究.pdf
- 磁控濺射制備TiO-,2-薄膜實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備介溫敏感（Ba，Sr）TiO-,3-薄膜.pdf
- 磁控濺射法制備ZnO薄膜及其特性研究.pdf
- 射頻磁控濺射法MoS-,2-薄膜制備研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備ZnO-Eu3+薄膜及其發(fā)光研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備TiO2薄膜及其N摻雜改性TiO2-xNx薄膜研究.pdf
- ZnO薄膜和p型ZnO薄膜的磁控濺射法制備及其性質(zhì)研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備AlN薄膜及其特性研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備ZrO2薄膜及其特性研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備TiO2和Al2O3薄膜的研究.pdf
- 射頻磁控濺射法制備環(huán)形器用YIG薄膜.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論