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文檔簡介
1、在深亞微米特別是納米級工藝下，制造過程中的工藝偏差不能被忽略，物理版圖中的互連線物理參數(shù)必須被建模為隨機變量，從而使得互連線延遲也成為具有一定概率分布的隨機變量。為了快速準確的得到延遲的概率分布，本文提出了一種高效準確的互連線延遲統(tǒng)計建模算法，基于創(chuàng)新性的符號化延遲算法，得到互連線延遲關于互連線物理參數(shù)偏差的閉合形式表達式，進而采用二階非線性模型進行近似，最后運用特征函數(shù)和傅立葉變換直接計算得到互連線延遲的概率分布。該算法高效準確，避免
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