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1、干涉信號(hào)處理方法作為激光干涉系統(tǒng)的核心，一直以來倍受人們的關(guān)注。在激光干涉儀中，測(cè)量精度在很大程度上取決于信號(hào)處理方法。為達(dá)到納米級(jí)的測(cè)量精度，激光干涉儀都毫無(wú)例外的需要對(duì)干涉條紋信號(hào)進(jìn)行細(xì)分，細(xì)分的精度決定了干涉儀的測(cè)量精度。所以現(xiàn)今對(duì)激光干涉儀的研究主要集中在對(duì)干涉信號(hào)細(xì)分的研究上。 本文以國(guó)家自然科學(xué)基金課題“基于合成波長(zhǎng)條紋細(xì)分原理的納米測(cè)量方法研究”為依托，參與了理論細(xì)分系數(shù)達(dá)1/440000的激光合成波長(zhǎng)干涉納米測(cè)量?jī)x的
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