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文檔簡介
1、 本論文在分析各種納米干涉儀的基礎(chǔ)上，重點探討了目前常用的雙頻激光外差干涉儀。 本文首先分析、研究了現(xiàn)有各種外差干涉儀的信號處理方法和應(yīng)用范圍，現(xiàn)有的外差干涉信號處理主要以鎖相倍頻原理來提高測量的精度，本論文提出了一種基于鎖相混頻的雙向差動鑒相的相位測量方法?！ ”疚囊云矫骁R激光外差干涉儀為主，設(shè)計了干涉儀的機械結(jié)構(gòu)與整體集成，并針對外差干涉信號設(shè)計出一種較為完善的信號處理電路，研制和實現(xiàn)了基于鎖相環(huán)混頻的雙向差動鑒相的相位測量
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