基于光纖分光干涉原理的激光微位移測量系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著微機械、微制造、微電子、生物醫(yī)學等領域中微納米加工技術的發(fā)展，對微納米測量技術提出了更高的要求，基于激光和光纖傳感的微位移測量技術引起了人們的廣泛重視。
　　本論文在綜述現(xiàn)有光纖干涉位移測量技術的基礎上，設計了一種基于一根光纖的激光微位移干涉測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)由光源、光環(huán)形器、光準直器、光電探測器及信號處理電路組成。該系統(tǒng)以光準直器的輸出端面作為參考鏡，測量光和參考光同時在一根光纖中傳播，從光準直器輸出端面反射回來的參考光和從測

2、量鏡表面反射回來的光發(fā)生干涉。當測量鏡移動時，兩束光的光程差會變化進而產生干涉條紋，經光電探測器及細分、計數(shù)等處理后實現(xiàn)位移測量。系統(tǒng)中采用的準直器由光纖構成，具有體積小巧、不存在發(fā)熱現(xiàn)象等顯著優(yōu)點，適合便攜式測量且使得系統(tǒng)抵抗外界干擾的能力得到增強。
　　搭建了基于宏動位移平臺、PI納米微動臺和SIOS激光干涉儀的實驗系統(tǒng)，分別在測量鏡小位移和大位移情況下對系統(tǒng)進行了定性和定量測試。實驗結果表明，該系統(tǒng)的量程可達到4.4mm，測