基于DSP的激光外差干涉納米測量信號處理系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展、工業(yè)加工對計量技術(shù)的要求進一步提高,各種激光測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于高精度測量,其中激光外差干涉由于其可測量范圍大、精度高、應(yīng)用范圍廣及可溯源性,而得到廣泛的認可,世界各國均投入大量的人力物力進行實際應(yīng)用研究。本論文依托于國家自然科學(xué)基金(編號90923026),設(shè)計了基于數(shù)字信號處理器(DSP)的激光外差干涉測量信號處理系統(tǒng),實現(xiàn)了高精度的位移測量。
　　 論文在敘述了激光外差干涉測量原理的基礎(chǔ)上,對激光外差

2、干涉測量信號的處理方法進行詳細的研究和分析后,提出了基于DSP的激光外差干涉測量信號處理方法,可實現(xiàn)高精度的納米位移測量,完成了信號處理系統(tǒng)的硬件設(shè)計和軟件設(shè)計,并調(diào)試運行成功。硬件設(shè)計主要包括信號預(yù)處理電路和與DSP連接電路等,軟件設(shè)計主要包括DSP信號采集、處理和與上位機通訊等各模塊的設(shè)計,上位機軟件采用Visual basic語言設(shè)計。
　　 為驗證所設(shè)計系統(tǒng)的可行性,分別進行了相位差測量實驗、系統(tǒng)穩(wěn)定性實驗和納米位移測量