波長移相干涉測量技術(shù)研究.pdf

1、移相干涉技術(shù)中以推動壓電陶瓷堆移相為代表的硬件移相技術(shù)應(yīng)用最為廣泛，但是對大口徑光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行測量時，利用壓電陶瓷堆推動移相比較困難，并且非直線運動會引入較大測量誤差。而波長移相技術(shù)通過改變激光的輸出波長來實現(xiàn)干涉信號的移相，有效地彌補了這一缺點，對于大尺寸的干涉系統(tǒng)測量是非常具有實際意義的。 本文介紹了移相干涉技術(shù)的原理以及常見的移相方法，闡述了可調(diào)諧激光器的波長調(diào)諧機理，分析了利用波長調(diào)諧進(jìn)行移相干涉測量的基本原理，并對其發(fā)展

2、和應(yīng)用狀況進(jìn)行了概述。根據(jù)波長移相的原理，仿真了波長移相的三步法、四步法、四步平均法以及重疊四步平均法，并在不同干涉腔長、波長漂移誤差情況下進(jìn)行了一系列的計算，其中涉及模擬干涉圖、移相干涉、波面解包等一系列重要的原理和過程。仿真結(jié)果表明，實驗所用VORTEX激光器在2％誤差范圍內(nèi)滿足λ/100測試精度要求。最后，設(shè)計了具體的實驗，搭建了實現(xiàn)波長移相干涉的實驗系統(tǒng)，進(jìn)行了干涉圖采集，對VORTEX激光器實施標(biāo)定測試，并按照重疊四步平均移相