單頻激光干涉儀信號(hào)處理及其測(cè)量技術(shù)研究.pdf

1、激光由于其高方向性、高單色性和高相干性特點(diǎn)，使得其具有普通光源所無(wú)法替代的優(yōu)勢(shì)。干涉儀采用激光作為光源，使得其在測(cè)量上更加精確，范圍更為廣。隨著機(jī)械技術(shù)越來(lái)越要求在精密度上有提高，這就使得在測(cè)量的精度上要求越來(lái)越高，現(xiàn)階段要求達(dá)到微米或者更為精確程度，于是單頻激光干涉系統(tǒng)的高精度測(cè)量技術(shù)研究逐漸得以重視。
　　本文介紹了激光干涉儀發(fā)展現(xiàn)狀以及單頻激光干涉系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀，從波動(dòng)方程和光的干涉方程來(lái)研究光的干涉原理，研究相關(guān)光的獲得，

2、分別從分波陣面法和分振幅法來(lái)進(jìn)行討論研究，然后對(duì)激光干涉儀測(cè)長(zhǎng)原理進(jìn)行研究。對(duì)邁克爾遜等傾干涉條紋的產(chǎn)生進(jìn)行分析，推導(dǎo)焦平面上任一組等傾干涉條紋能量分布情況，并研究焦平面上等傾干涉條紋的能量隨測(cè)量鏡位置的變化的規(guī)律。
　　論文對(duì)單頻激光干涉系統(tǒng)的高精度測(cè)量技術(shù)進(jìn)行研究。研制了一種可調(diào)光程的激光測(cè)長(zhǎng)儀，并提出了使用該激光測(cè)長(zhǎng)儀對(duì)量塊在不同姿態(tài)下的長(zhǎng)度變化量測(cè)量的方法。對(duì)測(cè)長(zhǎng)儀的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究，并且研制了其附件，并對(duì)其技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)進(jìn)