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文檔簡介
1、移相干涉術(shù)是以光波波長為單位的非接觸式高精度測量技術(shù),為了使大小各異的被測元件產(chǎn)生的干涉條紋尺寸大小一致而引入了變焦鏡頭,從而不可避免地導(dǎo)致干涉條紋亮暗不均勻和照度改變的問題,最終影響測量精度。由于移相干涉術(shù)對振動比較敏感,干涉儀通常放在實驗室進(jìn)行測量,這就大大限制了干涉儀的用途。為了解決上述問題,本文著重對光強(qiáng)的自動調(diào)節(jié)和干涉儀抗振進(jìn)行了研究。 根據(jù)光強(qiáng)是否在CCD線性響應(yīng)區(qū)間這一結(jié)果來控制電機(jī)帶動濾光片轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)了對光強(qiáng)的自
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