基于點衍射干涉儀的波前測試技術(shù)研究.pdf

1、點衍射干涉儀是波前測量的有效手段，其無需參考鏡、共光路結(jié)構(gòu)等優(yōu)點可以滿足高精度的測量要求。為了實現(xiàn)光學波前的瞬態(tài)測量，研究了點衍射干涉儀，可以用一幅圓載頻干涉圖來恢復原始相位。
　　首先，為了實現(xiàn)高精度瞬態(tài)波前檢測的要求，設計了點衍射干涉法波前檢測的方案，研究了點衍射干涉儀的原理，分析了折射系統(tǒng)、同軸反射系統(tǒng)和離軸反射系統(tǒng)，給出了離軸反射系統(tǒng)的參數(shù)。
　　第二，為了實現(xiàn)點衍射干涉儀波前檢測中干涉圖的高對比度，仿真分析了會聚光

2、束經(jīng)小孔后的衍射光強，得到了不同離焦量下的干涉圖對比度，設計及研制了點衍射板，并采集相應的點衍射干涉圖。實驗結(jié)果表明6um小孔、0.2％透過率的點衍射板能夠滿足測試要求。
　　第三，為了實現(xiàn)從點衍射干涉圖中恢復相位，采用四相位拼接法和改進的坐標變換法恢復圓載頻干涉圖相位。仿真分析了四相位拼接法和改進的坐標變換法對幾種基本像差的恢復精度和適用的載頻范圍，結(jié)果表明兩種算法的精度均優(yōu)于λ/40，符合測試要求。
　　第四，為了研究點

3、衍射干涉儀波前檢測方案的可行性，搭建了點衍射干涉法測量平行光管標準鏡頭出射波前的實驗裝置，波前誤差測試結(jié)果為PV=0.264λ，RMS=0.032λ，并將實驗結(jié)果與ZYGO干涉儀和SID4波前傳感器的測量結(jié)果比對，結(jié)果表明點衍射干涉儀波前測量方案實際可行。
　　最后，為了研究點衍射干涉儀對近紅外波段波前測量的可行性，搭建了點衍射干涉儀測量光學系統(tǒng)近紅外波前的實驗裝置，波前誤差測試結(jié)果為PV=1.486λ，RMS=0.192λ，結(jié)果