中頻段干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、隨著強(qiáng)激光、空間光學(xué)等領(lǐng)域的發(fā)展，系統(tǒng)對(duì)光學(xué)元件表面質(zhì)量的要求越來(lái)越高，對(duì)中頻段表面誤差的檢測(cè)受到了廣泛地重視，傳統(tǒng)的面形誤差評(píng)價(jià)方法已不能滿足要求。目前能檢測(cè)到光學(xué)元件的中頻段誤差的干涉儀相對(duì)較少，給光學(xué)元件的加工制造帶來(lái)了困難。因此，本文開展了中頻段檢測(cè)和高分辨率干涉儀關(guān)鍵技術(shù)的研究。
　　本文分析了不同頻段誤差的檢測(cè)和評(píng)價(jià)方法，深入研究了中頻段評(píng)價(jià)指標(biāo)功率譜密度PSD（Power Spectral Density）的定義及其

2、數(shù)值計(jì)算方法;對(duì)測(cè)量和計(jì)算PSD過(guò)程中的采樣密度和可測(cè)得的頻率范圍的關(guān)系進(jìn)行了分析討論，研究了PSD測(cè)量的有效頻率寬度。
　　研究了高分辨率PSD干涉儀的基本結(jié)構(gòu)和工作原理，設(shè)計(jì)了Φ15mm的PSD干涉儀系統(tǒng)，包括光纖導(dǎo)出式光源、準(zhǔn)直物鏡、光闌、成像鏡和CCD采集系統(tǒng)等各個(gè)組成部分，并完成了干涉儀的集成裝調(diào)和測(cè)試;分析了干涉儀系統(tǒng)中偏振分光棱鏡、準(zhǔn)直物鏡和CCD保護(hù)玻璃產(chǎn)生的相干噪聲對(duì)干涉圖結(jié)果影響。
　　研究了干涉儀系統(tǒng)傳