鋯鈦酸鉛薄膜的制備及性能測試研究.pdf

1、針對危化品儲運監(jiān)測的問題及關(guān)鍵技術(shù)，本論文按照863科研項目《面向安全監(jiān)測與跟蹤的網(wǎng)絡化微系統(tǒng)》的課題要求，主要從事熱釋電紅外探測器敏感元的研究。伴隨微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，MEMS器件在尺寸(微米/納米量級)、體積、質(zhì)量、功耗、響應時間上都得到極大提升。本文利用MEMS工藝在硅基底上制備鋯鈦酸鉛薄膜，并通過一系列基礎(chǔ)性研究探求高性能鋯鈦酸鉛薄膜材料的制備技術(shù)。 論文利用溶膠凝膠法制備三種不同鋯鈦比的鋯鈦酸鉛材料，確定

2、先體溶液原料為乙酸鉛、四正丁氧基鋯及鈦酸四丁酯，采用四正丁氧基鋯有機試劑作為螯合劑，通過化學方法配制前驅(qū)體溶液并制備薄膜。采用甩膠機將溶膠均勻涂覆在硅基片上，通過燒結(jié)及退火處理得到PZT薄膜。通過薄膜能譜分析得到薄膜材料的確切比例，由形貌測試、XRD、Raman測試得出，溶膠濃度在0.2mol/L比較合理，且鋯鈦比例為15/85的干凝膠比其他兩種性能優(yōu)越。實驗過程中，通過一系列的燒結(jié)試驗，得出合理的燒結(jié)溫度曲線等薄膜制備工藝參數(shù)對薄膜的