鈦酸鉛鑭鈣系鐵電薄膜的制備及其性能研究.pdf

1、本文采用3種重要的制備技術(shù)研究了2種不同結(jié)構(gòu)的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鐵電薄膜，即利用sol-gel技術(shù)制備了PLCT、PT/PLCT/PT鐵電薄膜，采用改進(jìn)的sol-gel技術(shù)制備了PLCT鐵電厚膜，采用射頻磁控濺射技術(shù)制備了PLCT鐵電薄膜。利用XRD、XPS、EDAX、SEM、AFM、PFM、SNDM等現(xiàn)代分析技術(shù)對薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組份、化學(xué)價態(tài)、表面形貌、電疇分布等進(jìn)行了深入的分析研究，測試了PLCT系列鐵電薄膜的電學(xué)性能。文章研究了鈣

2、鈦礦結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性與陽離子的半徑、離子鍵成分、陽離子價態(tài)的穩(wěn)定性、陽離子和氧離子的電子構(gòu)型等參數(shù)的關(guān)系；采用sol-gel技術(shù)，制備了PLCT鐵電薄膜和PT/PLCT/PT鐵電異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜，制備了具有全鈣鈦礦結(jié)構(gòu)PLCT鐵電厚膜；利用sol-gel技術(shù)制備了PLCTx納米微粉；利用SEM、AFM對PLCT、PT/PLCT/PT薄膜表面進(jìn)行了分析；利用PFM和SNDM對PLCT鐵電薄膜的電疇特性進(jìn)行了研究；測試了PLCT系列鐵電薄膜的電學(xué)性