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1、p7,f大學(xué)碩士學(xué)位論文溶膠凝肢技術(shù)制備題目煞熊照塑疊到叢量蒸照墨甚些鰉壁蘊(yùn)作者左盤完成日期2Q業(yè)生旦!!墮培養(yǎng)單位墮!!l蠡生指導(dǎo)教師盎生冒筮燕專業(yè)越盤鹽墨盞焦生研冗方向盒墊蜘鏈幽搬授予學(xué)位日期——年月——日5利用AFM分析測(cè)試方法分析了BST系列薄膜的表面形貌,發(fā)現(xiàn)BST系列薄膜表面平整、光滑、致密,晶粒發(fā)育較好,大小均勻。薄膜的表面形貌與退火溫度有一定關(guān)系。晶粒大小隨著退火溫度的升高而變大,同時(shí)表面的均方根粗糙度也隨著退火溫度的升
2、高而變大。BST系列薄膜的晶粒平均大小在50~75nm之間,薄膜的均方根粗糙度在3~65nm之間。發(fā)現(xiàn)摻入鉍后,BST薄膜的晶粒變得細(xì)小,BST薄膜表面變得更加光滑,均方根粗糙度明顯降低。6XPS分析表明,采用本文溶膠一凝膠工藝所制備的BST、BST:Bi薄膜中Ba、Sr、Ti、O、Bi五種元素均以鈣鈦礦結(jié)構(gòu)中各元素相應(yīng)的化學(xué)態(tài)存在。XPS分析BST薄膜中各元素的結(jié)合能表明,鉍摻入BST薄膜中,使BST薄膜中的鋇的結(jié)合能升高。摻鉍1mo
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