耐沖擊數(shù)字式壓電石英加速度傳感器研究.pdf

1、隨著科學技術的發(fā)展，傳感器技術在武器裝備中越來越重要。為了準確、快速地獲取信息，要求作為感知的傳感器具有良好的綜合性能。加速度傳感器是慣性導航、制導和控制檢測設備的重要測量器件，廣泛用于航空、航海及武器的制導和控制系統(tǒng)。其中，數(shù)字式壓電石英加速度傳感器以其精度高、響應快、數(shù)字輸出、抗干擾能力強，以及無活動部件和反饋回路等特點而受到人們的關注。這種傳感器的使用，對于提高武器裝備的快速反應能力，實時實施監(jiān)控有重要意義。 石英晶體受到

2、力的作用時其諧振頻率會無滯后地隨所加力的大小線性地變化，這一現(xiàn)象稱為石英晶體諧振器的力一頻特性。本文即對利用這一特性制作的石英加速度傳感器進行了研究。 研究內(nèi)容主要圍繞石英加速度傳感器的相關基礎理論和制作工藝，在前人工作的基礎上，通過理論分析、配合相關實驗重點研究了作為敏感元件的石英晶體諧振器的力一頻特性、加速度傳感器的敏感結(jié)構(gòu)、工作原理、檢測電路等，總結(jié)了石英晶體諧振器的制作工藝，并對傳感器性能參數(shù)進行了測試。 本文研