基于VME總線運動控制卡及驅(qū)動程序的設(shè)計和實現(xiàn).pdf

1、隨著信息技術(shù)的發(fā)展，對集成電路的集成度要求越來越高，其硅片直徑不斷增大，圖形的線寬也不斷縮小，對其專用生產(chǎn)設(shè)備光刻機的運動控制要求也越來越高。目前光刻機普遍采用PC機嵌入運動控制卡的運動控制方式，將PC機強大的信息處理能力和開放式特點與運動控制卡的運動控制能力相結(jié)合，滿足光刻機對運動控制的需求。本文著力于運動控制卡及其驅(qū)動程序的設(shè)計和實現(xiàn)，為光刻機的運動控制系統(tǒng)提供良好的硬件和軟件上的支持。
　　首先，本文在對光刻機及其運動控制技

2、術(shù)了解的基礎(chǔ)上，結(jié)合光刻機控制系統(tǒng)的性能指標，對運動控制卡的硬件做出整體的規(guī)劃。本運動控制卡接入上位機的總線為VME總線，其接口芯片為VME總線專用的接口芯片VIC068A/VAC068A。主控芯片采用DSP TMS320F2812，接口芯片和主控芯片DSP之間通過雙口RAM作為數(shù)據(jù)的緩沖通道，避免了運動控制卡和PC機通信產(chǎn)生瓶頸堵塞現(xiàn)象。運動控制卡通過D/A和開關(guān)量輸入輸出接入直線電機或音圈電機的驅(qū)動器，對其進行運動控制。
　　

3、其次，本文結(jié)合運動控制卡的規(guī)劃，詳細討論了運動控制卡的硬件電路的具體實現(xiàn)。包括 DSP外圍基本電路的設(shè)計，如電源、電源監(jiān)控和復位、仿真接口設(shè)計等；運動控制卡的輸入和輸出；VME總線接口電路的實現(xiàn)等。本運動控制卡的特點是結(jié)構(gòu)緊湊，可靠性高。
　　最后，運動控制卡離不開驅(qū)動程序的支持，本運動控制卡的驅(qū)動程序在VxWorks下實現(xiàn)，VxWorks的硬實時性進一步保證了光刻機系統(tǒng)的性能。具體實現(xiàn)是首先根據(jù)系統(tǒng)的上位機硬件環(huán)境開發(fā)了板級支持