硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā).pdf

1、集成電路(IC)是電子信息產業(yè)的核心，應用于IC的IC制造裝備是半導體產業(yè)發(fā)展的支柱，在整個半導體產業(yè)的發(fā)展中扮演著重要的角色。而硅片傳輸機器人是IC制造裝備中不可缺少的關鍵設備，它的速度、重復定位精度直接或者間接的影響著IC元件的質量。硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)，對提高硅片傳輸機器人的性能有很大作用，其控制系統(tǒng)的好壞直接影響到硅片傳輸的精確性以及穩(wěn)定性。 本文首先從硅片傳輸的特殊需求出發(fā)，闡述了硅片傳輸機器人的總體結構

2、和傳動原理，并在此基礎上，從硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的插補算法、人工示教和PID調節(jié)等方面闡述了硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究基礎，為后續(xù)軟硬件技術的開發(fā)以及系統(tǒng)的實現(xiàn)奠定了基礎。 其次，結合硅片傳輸機器人的特點，本文以“通用PC+PMAC”為硬件平臺，開發(fā)了開放式的控制系統(tǒng)。其中以通用PC作為上位機完成控制系統(tǒng)中的非實時任務，采用開放式運動控制器PMAC作為下位機完成實時的控制任務。研究了運動控制器、伺服單元以及編碼器的接口技術，

3、實現(xiàn)了硅片傳輸機器人的控制功能。 在硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)軟件開發(fā)中，借鑒了商用控制系統(tǒng)的人機界面風格，同時充分地發(fā)揮Windows編程的優(yōu)勢，采用面向對象的程序設計語言VisualBasic和模塊化的編程方法，建立了便于用戶操作的友好的人機交互接口界面。實現(xiàn)了伺服驅動系統(tǒng)的實時控制，狀態(tài)數據的采集與顯示、PLC程序的調用、用戶參數輸入和人工示教的功能。除此之外，還開發(fā)出了功能完善的輔助程序，從而使用戶能夠更方便的控制硅片傳輸機