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1、西安電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文薄膜特性實時檢測技術(shù)的研究姓名：單攀逢申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：安毓英林曉春20060901ABSTRACTABSTRACTRealtimemeasurementofthinfilmpropertiesisaveryimportantaspectinthinfilmtechnologyDuringthegrowingprocessofthinfiLmweneedtOmeasureseveral
2、thinfilmpropertiesinrealtime，SOastocontrolthegrowingprocesspreciselyTheoreticalbasisandmainmethodsofthinfilmpropertiesmeasurementtechnologyissummarizedandthewholeschemeofthinfilmmultipropertiesrealtimemeasulementdeviceis
3、suggestedSOastesearchandmanufactureadevicewhichissimpleinstructureandCanmeasurethegrowthrate，stressandrefractiveindexofthinfilmduringthedepositionprocessItcarnotonlymccttheneedofexperimentalresearchbutCanbeappliedinonlin
4、emeasurementSOtheissueofpraiseonlinemeasul℃mentforthethinfilmpropertiescouldbeSOlvedAstothepracticalworkellipsepolarizationlightdeviceisdesigned；theimprovementschemeofLDfull—loopcontrolanddrivingcircuitissuggestedandthei
5、nfluencefactorsofthinfilmthicknessmeasuremantprecisionisquantitativelyanalyzed；afrontsetlensofdetectorisintroducedanddesignedinthemeasurementofthinfilmgrowthrate；undercurrentlabconditions，theinterfemacesimulationexperime
6、ntforthinfilmgrowthisconducted，astotheexperimentalproblemthesolutionprogramisgivenAtlasttheresearchworkissummarizedandfurtherimprovementisexpectedKeywords：thinfilmmultipropertiesrealtimemeasurementdetectorfrontsetlenspre
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