主動(dòng)減振器的設(shè)計(jì)與力學(xué)分析.pdf

1、在超精密加工制造領(lǐng)域,外部環(huán)境的振動(dòng)不可避免地會(huì)影響加工設(shè)備的工作性能,傳統(tǒng)的被動(dòng)隔振系統(tǒng)無法滿足加工設(shè)備不斷提高的精度要求。超精密隔振系統(tǒng)通過采用主動(dòng)隔振與被動(dòng)隔振相結(jié)合的方式能更好地滿足超精密設(shè)備對低頻和中高頻隔振的需求。本文從主動(dòng)減振的原理出發(fā),設(shè)計(jì)了一種采用被動(dòng)隔振與主動(dòng)隔振相結(jié)合的主動(dòng)減振器,并通過采用有限元計(jì)算和試驗(yàn)的方法對核心元件做了進(jìn)一步的研究分析。
　　對主動(dòng)減振器的設(shè)計(jì)分為被動(dòng)隔振和主動(dòng)隔振兩個(gè)部分。被動(dòng)隔振部

2、分,通過對氣浮剛度的理論推導(dǎo),設(shè)計(jì)的非線性單腔室空氣彈簧能夠?qū)崿F(xiàn)垂直方向的隔振,正剛度擺機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了水平方向的隔振。主動(dòng)隔振部分,基于實(shí)際需求推算出面向精密主動(dòng)減振的音圈電機(jī)的推力常數(shù)、電感和電阻等參數(shù),設(shè)計(jì)了一套音圈電機(jī),引入天棚阻尼技術(shù),對速度傳感器等各類傳感器進(jìn)行了配置和選型。
　　以主動(dòng)減振器的部分核心元件為研究對象,利用ANSYS自帶的實(shí)體建模功能創(chuàng)建了實(shí)體幾何模型并對其進(jìn)行靜力分析。通過靜力分析求解得到各種工況時(shí)的應(yīng)力應(yīng)