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1、與傳統(tǒng)的離焦法測頭相比,論文研究的動態(tài)主動調(diào)焦法測量系統(tǒng)具有高的測量精度,大的測量范圍和好的動態(tài)特性.更重要的是它可以測量具有強反射表面的高精度金屬件和光學(xué)件,解決了形貌檢測領(lǐng)域的一個難題.另外,它還可以應(yīng)用于一些具有高精度要求的自由曲面測量.偏光干涉測量是一種新型的運用了晶體光學(xué)原理的物體形貌檢測方法,同三角法相比,它具有較高的測量精度,相當?shù)臏y量范圍和工作距離.研究的主要內(nèi)容為:解決高精度強反射表面測量中存在的問題和研究新型非接觸檢
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