測(cè)微儀測(cè)頭的動(dòng)態(tài)性能研究.pdf

1、掃描式電感測(cè)微儀測(cè)頭因其測(cè)量精度高、量程大、安裝使用方便,而在CNC齒輪測(cè)量中心、觸針式輪廓儀、圓度儀、圓柱度儀及幾何形位誤差測(cè)量中心等精密量?jī)x上廣泛使用.然而,以往人們對(duì)電感測(cè)微儀的研究?jī)H限于其靜態(tài)性能,隨著其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大及測(cè)量效率的提高,測(cè)微儀測(cè)頭由以往測(cè)量靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)信號(hào)擴(kuò)展到測(cè)量動(dòng)態(tài)信號(hào),這就對(duì)測(cè)頭的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能提出了要求.測(cè)微儀測(cè)頭在測(cè)量工件時(shí)屬于接觸式測(cè)量,它存在的主要問(wèn)題是當(dāng)接觸式測(cè)頭快速掃描工件時(shí),被測(cè)信號(hào)的迅速變化可

2、能會(huì)使測(cè)頭脫離工件,這樣測(cè)頭的輸出信號(hào)就不能正確反映被測(cè)信號(hào)的真實(shí)情況.因此,找出測(cè)頭的測(cè)量臨界脫離頻率、分析影響臨界頻率的因素,并以此來(lái)改善測(cè)頭的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能是研究接觸式測(cè)頭動(dòng)態(tài)測(cè)量特性的關(guān)鍵內(nèi)容,對(duì)于提高其測(cè)量效率和測(cè)量精度具有很強(qiáng)的實(shí)際意義.該文以平行簧片式測(cè)微儀測(cè)頭的結(jié)構(gòu)為例,建立了測(cè)頭在動(dòng)態(tài)掃描測(cè)量時(shí)的數(shù)學(xué)模型.并對(duì)其動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能進(jìn)行了深入地理論分析.同時(shí),研制出了測(cè)頭動(dòng)態(tài)性能測(cè)試試驗(yàn)臺(tái),對(duì)測(cè)頭的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)測(cè)試,