智能電容測微儀系統(tǒng)關鍵技術的研究.pdf

1、超精密電容測微儀是一種非接觸式精確測量微小相對位移、微振動和微小尺寸的儀器，具有溫度穩(wěn)定性好、測量范圍大、測量精度高、動態(tài)響應好、結構簡單等一系列優(yōu)點，在航空、航天、工業(yè)生產加工、超精密測量等領域中具有廣泛應用。 隨著科學技術和工業(yè)的飛速發(fā)展，對精密測量儀器的分辨力、精度和穩(wěn)定性要求也越來越高。JDC系列電容測微技術作為非接觸式測量的手段，由于采用的是早期的電路器件，這些器件在可靠性和精度指標等方面都比較落后，模擬電路復雜，調試

2、困難，在儀器的智能化、小型化方面還存在較大的差距，功能不夠完善，本課題針對這些問題進行了一系列研究工作。 本文對電容測微儀工作原理及其關鍵技術做了系統(tǒng)地、詳盡地分析論述，提出了一種基于單片機的小型化智能化電容測微儀設計的新方案。文中提出電容傳感器測頭設計中的相關技術；對主放大電路的電路參數(shù)進行優(yōu)化設計，進行了精密整流濾波電路的改進設計和器件優(yōu)化；采用數(shù)字合成技術的方法設計了精密穩(wěn)幅振蕩器，提高了精密穩(wěn)幅振蕩器的精度。采用單片機C