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1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文微型化數(shù)字式電容測(cè)微儀的研究姓名:劉宇申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器指導(dǎo)教師:王寶光20070101ABSTRACTAsallimportantmethodofnoncontactmicrodisplacementprecisionmeasurement,capacitancemicrometershavebeenwidelyusedinthisdomainButwiththedevelopmentoft
2、heindustrysystem,thetraditionalcapacitancemicrometersCan’tmeettherequirementsinsomekindofapplicationsbecauseofitshighpowerconsumptionandhugevolumeToavoidthedisadvantagesofthetraditionalcapacitancemicrometers,thepaperuses
3、themethodofdigitalMinitypeinstrumentdesigninganddevelopsawholenewt),peofcapacitancemicrometerFinallyasampleispresentedThenewtypeofcapacitancemicrometeriscontrolledbyaMSP430microcontroller;thecontrolcircuithasasmallvolume
4、of13010040(mm’)Themaximumpowerconsumptionissmallerthan013W:withasoureeof3AAbatteriesthesystemCanworkcontinuallyfor7daysneoutputofthesensorisserialsignal,wi廿lnormalshieldcablethesignalcanbetransmittedmorethan30metersWhent
5、hesystemcarriesonadifferentialmeasurementmodewithtwosensorsof①3SmmCOrediameteritcanachievetimingdriftofsmallerthan10nm/h,andtheresolutionis10nm,measuringrangeis80lxm,thedistancebetweenzeropositionandthesensor’smeasuringp
6、lateis90lam,thelinearityisbetterthan02%Themainworksinthedissertationincludesthefollowingaspects:1AnewmodelofMinitypedigitalcapacitancemicrometerispresentedbasedonthestudyofthetraditionalcapacitancemicrometer2Explainsthem
7、ethodofdesigningthedimensionofnewtypeofsensorProvideabasisfordesigningaseriesofsensors3TherelationshipbetweencapacitanceandmeasuringdistanceisnonlinearityacurvefittingmethodispresentedAndthemethodmeetstheprecisionrequire
8、ment4Byoptimizeddesignsuchasthechoiceoflowpowerconsumptiondeviceandcomputerinterface,theinstrumentcanbehandledeasilyandbecardedconvenientlyThecreativeworksareasfollows:1Introducesthecapacitancemeasuringchipstothecapacita
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