微慣性測量系統(tǒng)關(guān)鍵器件的研究.pdf

1、隨著微慣性測量系統(tǒng)應(yīng)用的日趨廣泛,微小型化是微慣性測量系統(tǒng)發(fā)展的重要方向.本文主要通過對微慣性測量系統(tǒng)中加速度計(jì)和開關(guān)兩個(gè)關(guān)鍵部件的研究,來進(jìn)一步解決應(yīng)用于新一代火箭的微慣性測量系統(tǒng)的微型化問題.論文首先詳細(xì)討論了一種壓阻式高g值硅微加速度傳感器的方案確定、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和工藝設(shè)計(jì),提出了工藝簡單易行的實(shí)施方案.論文詳細(xì)討論了采用懸臂梁結(jié)構(gòu)的高g值硅微加速度傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì),兼顧到靈敏度、量程、剛性條件和彈性條件以及工藝條件的綜合要求,進(jìn)

2、行質(zhì)量塊及懸臂梁的結(jié)構(gòu)尺寸設(shè)計(jì).在工藝方面,確定了加工硅微加速度傳感器方案;按照工藝要求,合理布局,設(shè)計(jì)出掩模版,并給出了高g值硅微加速度計(jì)的工藝流程.本文還介紹了微慣性測量系統(tǒng)中常用的部件—開關(guān)的微小型化研究.通過目前幾種類型開關(guān)的對比發(fā)現(xiàn)目前應(yīng)用的開關(guān)無法滿足新一代火箭的應(yīng)用需要,在本文中我們介紹了一種新型的微電磁開關(guān),在該部分中介紹了微電磁開關(guān)的原理,開關(guān)的微驅(qū)動部分由導(dǎo)磁的懸梁、扭梁和線圈、永磁體組成.由于采用了永磁單元,可以實(shí)