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文檔簡(jiǎn)介
1、高可靠性,高靈敏度微型化的加速度傳感器越來(lái)越為汽車工業(yè)、航天、生物和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域所需要。目前的研究及工程場(chǎng)合對(duì)三維加速度的測(cè)量提出更高要求,針對(duì)于此本文提出了一種新型加速度光纖傳感器的設(shè)計(jì),并對(duì)該傳感器進(jìn)行了系統(tǒng)的理論研究,給出了該三維加速度傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、測(cè)量原理以及其參數(shù)和性能指標(biāo)。論文的主要工作如下:
首先,介紹了國(guó)內(nèi)外關(guān)于多維加速度傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。隨后論述了光纖傳感技術(shù)的基本原理,并且分析了幾種典型的相位調(diào)
2、制型干涉儀的傳感機(jī)制,為后文部分加速度測(cè)量原理的推導(dǎo)提供了理論基礎(chǔ)。
其次,按照功能劃分出系統(tǒng)光源、敏感元件組、轉(zhuǎn)換與測(cè)量電路以及三維加速度的計(jì)算與輸出等模塊,并按照該劃分依次設(shè)計(jì)其結(jié)構(gòu)。對(duì)于本文的核心部分,也就是對(duì)敏感元件組的設(shè)計(jì),采用了彈性平膜片、全息光柵以及角錐棱鏡的組合,利用二維角度激光測(cè)量及邁克爾遜干涉原理,可以在較高精度下同時(shí)提取并實(shí)時(shí)測(cè)量三維加速度信號(hào)。
再次,利用材料力學(xué)的相關(guān)原理建立起膜片的位移與梁
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