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文檔簡介
1、一直以來，傳統(tǒng)的MEMS壓阻麥克風(fēng)始終存在一個靈敏度低、信噪比差的問題，其主要原因是壓敏電阻采集到的應(yīng)力較小。這使得MEMS壓阻麥克風(fēng)無法得到廣泛的應(yīng)用。
本文介紹了一種新型結(jié)構(gòu)的MEMS壓阻麥克風(fēng)，通過采用專利號為61/239068的應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)專利，解決傳統(tǒng)MEMS壓阻麥克風(fēng)因應(yīng)力集中問題而導(dǎo)致靈敏度較低的缺陷。
在研究過程中，利用有限元法分別針對XI10工藝和理想條件進行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化。模擬結(jié)果表明，應(yīng)力集
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