微流路芯片加工工藝研究.pdf

1、微流路芯片(Microfluidic chip)是在90年代發(fā)展起來的一個跨學(xué)科的新領(lǐng)域。通過生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、材料學(xué)、微機(jī)電加工(MEMS)和分析化學(xué)等多種學(xué)科領(lǐng)域的交叉，實(shí)現(xiàn)化學(xué)分析系統(tǒng)從樣品處理到檢測的整體微型化、集成化和便攜化。微流路芯片技術(shù)的發(fā)展不僅使樣品消耗顯著降低，分析速度成倍提高，而且費(fèi)用也大大下降。目前微流路芯片技術(shù)已經(jīng)在生命科學(xué)研究、藥物化學(xué)、食品安全和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。隨著研究的深入，微流路芯片將會在更多領(lǐng)域

2、顯示其巨大的發(fā)展?jié)摿Α?本文以Pyrex7740玻璃為制作材料，對微流路芯片的光刻工藝、濕法刻蝕工藝和鉆孔工藝進(jìn)行相應(yīng)的研究，優(yōu)化了工藝條件。通過MEMS軟件對微流路芯片進(jìn)行工藝仿真和功能仿真。完成的主要工作包括以下幾個內(nèi)容： 1.根據(jù)微流路芯片的工藝原理以及相應(yīng)的應(yīng)用要求設(shè)計了光刻掩膜板和正交叉十字型微結(jié)構(gòu)芯片。 2.采用濕法刻蝕的方法制作了以Pyrex7740玻璃為基體材料的微流路芯片，并研究了濕法刻蝕中的側(cè)