硅基集成電感電磁特性研究.pdf

1、集成電感作為射頻集成電路的核心元件之一，目前已廣泛應(yīng)用到射頻模塊中。隨著深亞微米技術(shù)的發(fā)展和工作頻率的提高，由于傳統(tǒng)硅基螺旋電感的高頻反射參數(shù)不穩(wěn)定、電磁輻射方向性差等高頻電磁場問題導(dǎo)致設(shè)計手冊中電感高頻參數(shù)缺失。另外，傳統(tǒng)硅基螺旋電感的品質(zhì)因數(shù)小、電感值小、電磁輻射大、損耗大等問題成為后端設(shè)計的瓶頸，制約著集成電路的發(fā)展。針對以上問題，本論文首先采用有限元法對傳統(tǒng)硅基螺旋電感進行了有限元建模和高頻電磁仿真，得到了傳統(tǒng)硅基螺旋電感的高頻

2、電磁特性，彌補了傳統(tǒng)設(shè)計手冊中電感高頻參數(shù)缺失的問題。其次，在傳統(tǒng)硅基螺旋電感的基礎(chǔ)上，提出了新型懸浮結(jié)構(gòu)硅基集成電感，經(jīng)高頻電磁場軟件仿真驗證，新型硅基懸浮集成電感的高頻電磁輻射小、功耗低、耦合小、電感值大，其性能明顯優(yōu)于傳統(tǒng)硅基螺旋電感的高頻電磁特性。最后，根據(jù)高頻電磁仿真結(jié)果提取的參數(shù)，在電感集總參數(shù)等效電路模型的基礎(chǔ)上增加耦合電容，對硅基集成電感進行了高頻等效電路建模，為高頻電路仿真提供可靠的仿真模型。
　　 本文所采用