2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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2、exandthicker6lmstructureForone300mmdiameterwafertheregionIn20mmwaferedgeexc(usioncontains25％ofwholewafer。schipamountThereforewholewaferyieldwillbeaffectedbywaferedgedefeclOncenlmstackpeelsalwaferedgeflakingdefecwillbeIra

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4、oflieandselectivitvIntovaries俐mmaterialscanbemodifiedwithadjustmentofprocessparametersegPEZringdiameterpowergapandprocessgascomponentlnexperimentandsemiconductormanufactorywaferedgedefecIdistributioncanbeclarified，andsui

5、tablePEZringsizecanbeselectedbytogetherwithopticalinspectionandwaferedgedefectSCaRWaferedge川mstructurecanbeinspectedbycrosssectionSEMIhenprocessconditioncanbeselectedProcesstimealsocanbecalculatedbyetchratemeasurementwit

6、hselectedprocessconditionOpticalinspectioncrosssectionSEMinspectionandwaferedQedefectscanneedfoberepeatedwhentestwaferlsetchedWithlheprocedureupon，processsetuplscompletedAfterprocesssetupcompletion，splitexperimentandrisk

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