電感耦合式射頻等離子清洗系統(tǒng)設(shè)計研制.pdf

1、本文主要介紹了電感耦合式射頻等離子清洗設(shè)備的研制和實驗,電感耦合式等離子是等離子應(yīng)用后期出現(xiàn)的新型方式,除了具有等離子清洗的諸多優(yōu)點外,其外電極結(jié)構(gòu)有效避免了電極造成的二次污染,是一種高效、高潔凈的清洗方法。電感耦合式等離子離子能量高、分布均勻,并且很容易實現(xiàn)外電極結(jié)構(gòu),徹底解決了電極在真空室內(nèi)發(fā)生二次濺射的問題,是極具研究價值和應(yīng)用潛力的新型干法清洗技術(shù)和設(shè)備。
　　電感耦合式射頻等離子清洗系統(tǒng)的研制需求是軍用微波真空電子器件領(lǐng)

2、域提出的,在電真空器件小型化、高可靠發(fā)展趨勢的推動下,制造工藝面臨著改進和革新,現(xiàn)有的濕法清洗工藝已無法完全滿足器件研制需求,傳統(tǒng)的電容耦合式清洗機也因結(jié)構(gòu)問題不適用于高潔凈清洗,開展電感耦合式射頻等離子清洗技術(shù)和應(yīng)用研究非常必要和迫切。
　　本文主要研究了等離子體產(chǎn)生的方式、射頻等離子體的特性和等離子清洗的機理。等離子產(chǎn)生方式有很多種,不同的產(chǎn)生方式等離子的特性不同,應(yīng)用也不同。射頻等離子體的特性決定了其在工業(yè)清洗中的應(yīng)用優(yōu)勢,