小功率平面微帶螺旋電感耦合微波等離子體源的研究.pdf

1、射頻/微波電感耦合等離子體自上世紀九十年代初出現(xiàn)以來，以其突出的優(yōu)點和優(yōu)越的性能受到越來越多的關(guān)注和研究，但是由于射頻/微波電感耦合等離子體技術(shù)發(fā)展比較晚，目前還沒有成熟的理論和計算設(shè)計方法。隨著現(xiàn)代科技和MEMS工藝的發(fā)展，人們對電感耦合等離子體源的性能提出了更高的要求，所以如何有效地設(shè)計電感耦合等離子體源就成為電感耦合等離子體技術(shù)中的重點和難點。本文針對目前人們對小功率平面螺旋微波激勵的ICPS的需求，對平面微帶螺旋微波激勵的ICP

2、S進行了理論上的分析，進而對其參數(shù)進行了等效分析計算，分別用MATLAB和HFSS進行了仿真，以觀察電感線圈的匝數(shù)n、微帶線的寬度w、匝間距s等參數(shù)對天線性能的影響，尤其是對品質(zhì)因數(shù)Q的影響。從MATLAB的仿真結(jié)果看，在固定的外直徑的情況下，匝數(shù)n、線寬w、間距s都分別存在一個最佳值，使得電感線圈的品質(zhì)因數(shù)Q取得最大值；不同的外直徑，參數(shù)的最佳值是不同的；用HFSS對電感線圈不同的尺寸進行仿真；兩種結(jié)果進行比較，基本吻合。最后設(shè)計出2