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1、在線式等離子體清洗是在低壓下射頻產(chǎn)生等離子體，粒子具有活性強、溫度低和自由程較長的優(yōu)點，比常壓等離子清洗更適合處理高精密表面處理，加以在線的全自動模式，提高了工業(yè)生產(chǎn)中的效率，近年來引起了很多研究人員的關(guān)注。掌握在線等離子體設(shè)備的清洗原理和設(shè)備的研制，在此基礎(chǔ)上進行放電特性和工藝的分析，并進行相關(guān)方面的實驗研究具有重要的學(xué)術(shù)價值和實際意義。
本文是在閱讀大量相關(guān)資料和最新成果的基礎(chǔ)上，結(jié)合在實踐中的經(jīng)驗，闡述了低壓下等離子
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