納米壓印技術制作微納流體芯片及其應用.pdf

1、微流控技術是在微米級的通道結構中操控納升至皮升體積流體的技術，是近十年來迅速崛起的一個嶄新的領域。不同于宏觀體系，流體在微流控芯片的微米級通道中，由于尺度的效應會導致許多新的現(xiàn)象，在生物檢測和分析化學等領域有著重要的意義。
　　隨著微流控芯片在生物、化學等領域的迅速發(fā)展和納米加工工藝的進步，納流控芯片也越來越引起人們的關注。納流控的基礎和應用研究是以納流控芯片的制造為基礎，隨著納流控芯片通道尺寸的不斷降低，對其制作技術提出了更高的

2、要求，需要更先進的加工工藝來制造出更小尺寸的納溝道，并需要研究新的工藝解決溝道在鍵合過程中的塌陷等問題。在納流控芯片中，隨著通道尺寸的降低，納米通道具有一些特殊的性質如粘度的增加、電滲流降低等，這些特殊的性質對其在生化方面的應用將起到重要作用。
　　微納米結構的制作需要先進的圖形轉移技術--光刻技術。傳統(tǒng)光刻在制作納米級圖形時面臨日益嚴重的挑戰(zhàn)，在目前出現(xiàn)的多種先進的光刻技術如X射線光刻、電子束光刻等技術則代價昂貴，難以實現(xiàn)產業(yè)化

3、，而納米壓印光刻技術作為下一代光刻技術中的熱門研究方法之一，由于其特有的優(yōu)點，很好的解決了這一矛盾。目前，納米壓印在存儲器、微/納溝道和微/納光學等方面都取得了廣泛的應用。
　　在本文中，我們將納米壓印技術應用于制造聚合物的納流體溝道，通過優(yōu)化鍵合的工藝參數，成功地制造出SU-8紫外固化膠的納溝道，最小尺寸達到100nm量級且溝道的外形輪廓良好。此外我們還結合納米壓印技術與犧牲層法，成功地用鋯鈦酸鉛(Pb(Zrx，Ti1-x)O3