基于微納流控芯片的新型流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)的研究.pdf

1、隨著微全分析系統(tǒng)的發(fā)展，納流控技術(shù)已成為當(dāng)前研究熱點(diǎn)和未來發(fā)展目標(biāo)。流體的驅(qū)動(dòng)技術(shù)作為相關(guān)研究的前提和基礎(chǔ)，一直是微納分析系統(tǒng)的核心與重點(diǎn)。目前常用的微流控芯片的驅(qū)動(dòng)方法在應(yīng)用到納流控領(lǐng)域時(shí)，要么存在明顯不足，要么根本無法適用。因此，開發(fā)出更有效的適用于納流控系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)方法，顯得迫切重要。本文在此提出了一種新型的驅(qū)動(dòng)方法，以不互溶的兩相之間的溶解來驅(qū)動(dòng)納米通道內(nèi)的液流，并在玻璃基底的微米納米一體化芯片上成功實(shí)現(xiàn)了這一方法。
　　論

2、文首先考察了玻璃微米納米一體化芯片的制作。依據(jù)之前報(bào)道的方法，通過二次光刻、濕法刻蝕、室溫鍵合等技術(shù)制作微米納米一體化芯片，并著重對(duì)納米通道的加工及形貌進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)和表征。
　　其次，為了獲得穩(wěn)定的兩相界面，對(duì)納米通道進(jìn)行了疏水化處理，并對(duì)處理后的表面進(jìn)行接觸角測(cè)試。用優(yōu)化后的實(shí)驗(yàn)參數(shù)在微通道的交叉處可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的水/正己醇的兩相界面。
　　然后，在疏水處理后的微流控芯片上實(shí)現(xiàn)了以溶解為基礎(chǔ)的納流體驅(qū)動(dòng)?？疾炝宋⒓{通道內(nèi)兩相