晶圓傳輸真空機械手示教系統(tǒng)的設計與實現.pdf

1、半導體技術的發(fā)展決定了工業(yè)的繁榮程度。晶圓在半導體行業(yè)中起到了支柱作用，因此得到了愈來愈多的重視。生產晶圓需要在在真空腔室內傳遞，潔凈間的特殊要求以及設備內部的真空構造加之高精度的操作，對機械手的控制提出了很嚴格的要求。
　　真空機械手是一種在真空環(huán)境下工作的機器人，主要用于半導體工業(yè)中，實現晶圓在真空潔凈環(huán)境下的運輸。示教盒是晶圓傳輸機械手控制系統(tǒng)的重要組成部分。操作者通過示教盒完成對機械手下達運動指令，獲得機械手各個位置信息，

2、危險情況下急停機械手等動作。
　　傳統(tǒng)的示教盒多采用單片機或者PLC來實現功能，總體來說功能比較單一，操作步驟比較冗雜，人機界面不夠友好，反應速度不夠迅速。本研究將普遍適用于掌上設備的ARM+Linux方案應用于工業(yè)機器人示教功能，很好的解決了上述問題。創(chuàng)新性的設計減小了示教盒的體積，豐富了設備的功能，并且為再次開發(fā)和重復開發(fā)提供了良好的條件。隨時可以根據實際生產需求進行調整，同時將嵌入式系統(tǒng)的方案應用于示教盒的新思路也得到了有效