集成電路晶圓批量測試系統(tǒng)的設計與實現(xiàn).pdf

1、半導體產業(yè)近十年發(fā)展帶來了許多全新的業(yè)務模式?？v向延伸的IDM（垂直整合制造）公司逐漸減少，而 Fabless（無生產線）芯片設計公司卻急劇增多。Fabless公司需要為測試代工廠加工的晶圓相應地建立一套完整的測試體系尤為必要。本文的研究工作主要是以上海華虹集成電路有限責任公司測試車間的晶圓批量測試平臺為背景，對Fabless芯片設計公司的晶圓批量測試系統(tǒng)的開發(fā)與實現(xiàn)展開討論。
　　本文通過對Fabless芯片設計公司的晶圓測試的

2、研究與分析，針對晶圓批量測試的多種類產品通用測試、生產管理控制等方面的需求，提出了腳本配置測試流程、服務器統(tǒng)籌管理等解決方案，采用C/S系統(tǒng)架構，以SQL Server為后臺，前端應用MFC加以設計與實現(xiàn)。在多種類芯片產品的測試方面，采用TCL腳本語言為基礎，并加以擴展，以測試腳本的方式實現(xiàn)不同種類芯片的測試流程。在生產流程控制方面，引入智能工序卡管理方法，由智能工序卡配合服務器共同完成生產工序的管理控制。在生產序列號管控方面，采用“服

3、務器分配，客戶端使用”的服務器統(tǒng)一管理的方式，實現(xiàn)生產序列號的統(tǒng)一調度的目的。在探針臺測試動作控制方面，采用消息驅動的方式，實現(xiàn)其測試動作的完整流程。本文還對測試數(shù)據(jù)統(tǒng)計環(huán)節(jié)進行了詳細論述，闡述了數(shù)據(jù)統(tǒng)計中各環(huán)節(jié)的具體實現(xiàn)方法。
　　本文的研究意義在于，滿足了Fabless芯片設計公司的在Foundry流片后的晶圓批量測試的需求，提高批量測試的效率。同時，加強對生產管理的控制。整套系統(tǒng)基本處于自動執(zhí)行的狀態(tài)，較少的需要人為的操作，