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文檔簡介
1、碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文晶圓傳輸機器人振動分析與軌跡控制(應(yīng)用型)VIBRATIONANALYSISTRAJECTYCONTROLFWAFERTRANSFERROBOT徐國寶徐國寶哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2011年6月ClassifiedIndex:TP242.2U.D.C:681DissertationftheMasterDegreeinEngineeringVIBRATIONANALYSISTRAJECTYCONTROLFWAF
2、ERTRANSFERROBOT(Applied)Cidate：XuGuobaoSupervis：AssociateProf.LiuYanjieAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：MechatronicsEngineeringAffiliation：SchoolofMechatronicsEngineeringDateofDefence：June2011DegreeCo
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