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文檔簡介
1、 本文用電磁場理論詳細分析了片上電感的損耗機理。在用電磁場仿真軟件HFSS8.0對不同形狀和結構參數的電感作了大量分類模擬討論后,本文提出了線寬、間距漸變的電感結構以提高電感Q值。這種基于電感結構的Q值優(yōu)化法相對于其它Q值優(yōu)化方法更易實現,且不增加任何工藝成本。對所設計的優(yōu)化電感樣品制備測試后,測試結果為優(yōu)化電感L=5.8nH,^R=5.1GHz,其Qmax=11.5比相同外徑未優(yōu)化電感的Q提高了6.5﹪,其頻率特性與未優(yōu)化電感基本相
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