微小型一體加速度傳感器的設(shè)計(jì).pdf

1、加速度傳感器在現(xiàn)今社會(huì)應(yīng)用極為廣泛,可以說(shuō)無(wú)時(shí)不用,無(wú)處不用,大到星體、飛機(jī)、艦船、坦克等裝備系統(tǒng),小到可應(yīng)用在手柄振動(dòng)和搖晃、儀器儀表、汽車制動(dòng)啟動(dòng)檢測(cè)、地震檢測(cè)、報(bào)警系統(tǒng)、玩具、結(jié)構(gòu)物、環(huán)境監(jiān)視、工程測(cè)振、地質(zhì)勘探、鐵路、橋梁、大壩的振動(dòng)測(cè)試與分析高層建筑結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性和安全保衛(wèi)振動(dòng)偵察上。
　　本文在對(duì)加速度傳感器的線性、動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)等特性進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上,研究并設(shè)計(jì)制造了一種新型結(jié)構(gòu)一體化加速度傳感器,介紹了結(jié)構(gòu)方面的設(shè)計(jì)、

2、電路方面的設(shè)計(jì)并對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析,提供了從電路方面進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?確定一體化加速度速傳感器的工藝參數(shù),還有基于MEMS加工技術(shù)的壓阻傳感器的工藝方法,給出了關(guān)鍵工藝過程和控制措施。該傳感器具有有高增益、低噪聲、溫度穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。本文對(duì)研制的新型結(jié)構(gòu)MEMS加速度傳感器進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)試的加速度范圍為(-20~+60)g,通過對(duì)傳感器的研究測(cè)試,該傳感器完全可以替代相比較而言體積過大的傳感器,本采用可靠性分析方法對(duì)微小型一體化加速