雙路白光顯微干涉測(cè)厚系統(tǒng)研究.pdf

1、液晶顯示屏（LCD）以其體積小、功耗低、接口方便控制的優(yōu)點(diǎn)在智能電子產(chǎn)品中得到了廣泛的應(yīng)用。LCD的厚度及其均勻性直接影響顯示清晰度性能，因此對(duì)LCD厚度的測(cè)量意義重大。本文對(duì)常見(jiàn)的厚度測(cè)量方法原理和特點(diǎn)進(jìn)行分析比較，根據(jù)LCD自身特點(diǎn)和測(cè)量要求，設(shè)計(jì)了雙路白光顯微干涉測(cè)厚系統(tǒng)。主要內(nèi)容如下：
　　1．系統(tǒng)采用Mirau干涉分光光路，分為左右相同且位置對(duì)稱的兩裝置，左右裝置建立統(tǒng)一坐標(biāo)系來(lái)確定其對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系。兩束白光分別聚焦到被

2、測(cè)物體左右表面上，兩CCD分別采集左右被測(cè)物體表面形成的白光干涉圖像，在統(tǒng)一坐標(biāo)系下分析兩CCD上的白光干涉圖像從而得到被測(cè)物體的厚度。
　　2．在此測(cè)量原理基礎(chǔ)上，選擇白光光源、Mirau干涉顯微鏡、圖像采集裝置等光學(xué)元件設(shè)計(jì)干涉光學(xué)成像系統(tǒng)和相應(yīng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)。
　　3．使用MATLAB處理采集到的白光干涉圖像，得到十字刻線中心提取算法、計(jì)算任意方向條紋斜率算法。特別是提出了一種提取白光零級(jí)干涉條紋中心位置的三色條紋分離度方