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1、該文首先對(duì)傳統(tǒng)的干涉圖位相檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行了總結(jié),分析了干涉圖的位相檢測(cè)方法,在總結(jié)位相檢測(cè)方法的同時(shí)也分析了它的局限性(相鄰兩點(diǎn)的高度差小于1/2λ)并結(jié)合課題的研究需要采用白光掃描干涉法.它主要是利用白光的干涉特性,通過(guò)掃描來(lái)尋找最佳干涉位置的方法,從而有效克服了單色光檢測(cè)的局限性.論文主要對(duì)常用的白光算法,包括條紋掃描法,條紋調(diào)制度法,空間頻域算法,移相算法,頻譜展開(kāi)法等算法進(jìn)行了分析和計(jì)算,并對(duì)條紋掃描法和空間頻域算法進(jìn)行了較全面、
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