193nm激光制作的琺珀加速度傳感器.pdf

1、加速度傳感器是一種重要的傳感器，在航空航天、地質勘探、土木結構振動測量等領域有著廣闊的應用前景。而光纖琺珀傳感器具有抗電磁干擾能力強、不易腐蝕、尺寸小、靈敏度高等優(yōu)點。
　　本文以激光制作的琺珀應變傳感器為基礎，設計并實現(xiàn)了一種光纖琺珀加速度傳感器，滿足在航空結構的振動檢測及控制和大型旋轉設備的振動監(jiān)測等方面的需求。
　　本文研究了193nm激光微加工制作的單琺珀空氣腔的制作工藝，研制出了單腔和雙腔琺珀傳感器，并測試了它們的

2、傳感特性，結果表明：單琺珀空氣腔的溫度敏感系數(shù)為1.1 pm/℃，靜態(tài)應變靈敏度為1.61 pm/με，雙腔結構琺珀腔的溫度敏感系數(shù)為9.7 pm/℃。
　　在成功制作出的單琺珀空氣腔的基礎上，提出了一種基于雙端固支梁結構的光纖琺珀加速度傳感器設計方案。從結構力學的角度，理論研究了雙端固支梁結構的力學特性。通過ANSYS軟件對雙端固支梁結構進行模態(tài)分析和靜態(tài)分析，模擬分析了敏感質量塊重心位置對固有頻率的影響，也分析了結構在不同方向