已閱讀1頁,還剩69頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、廈門大學(xué)博士后士學(xué)位論文微系統(tǒng)中的電化學(xué)微加工技術(shù)——約束刻蝕劑層技術(shù)研究姓名:孫建軍申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士后士專業(yè):物理化學(xué)指導(dǎo)教師:田昭武2001.5.1摘要紹。2對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器及實(shí)驗(yàn)中所使用的相關(guān)材料作了說明。3介紹了電化學(xué)模板的制備方法。包括si模扳的導(dǎo)電鍍層和si模板引線的制作,以及電極的包封技巧。4介紹了用齒狀和金字塔狀兩種模板對(duì)半導(dǎo)體的具體加工結(jié)果。我們研究了適用于CELT技術(shù)刻蝕GaAs的實(shí)驗(yàn)條件,在GaAs上刻蝕出了與模板結(jié)構(gòu)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 微透鏡陣列的約束電化學(xué)刻蝕加工技術(shù)與系統(tǒng).pdf
- 基于約束化學(xué)刻蝕的新型電化學(xué)微加工方法及其應(yīng)用.pdf
- 硅微通道板電化學(xué)微加工等徑控制技術(shù)研究.pdf
- 約束刻蝕劑層微納加工儀器的設(shè)計(jì)與開發(fā).pdf
- 微小凹坑陣列電化學(xué)加工技術(shù)研究.pdf
- 光化學(xué)約束刻蝕在微加工中的應(yīng)用.pdf
- 鈦合金的“電解-約束刻蝕”復(fù)合電化學(xué)加工研究.pdf
- 微坑陣列模具掩膜電化學(xué)刻蝕研究.pdf
- 脈沖激光輻照的電化學(xué)應(yīng)力刻蝕技術(shù)研究.pdf
- 面向轉(zhuǎn)氨酶檢測(cè)的電化學(xué)微納傳感技術(shù)研究.pdf
- 精密微孔電火花電化學(xué)組合加工技術(shù)研究.pdf
- 應(yīng)用于微納機(jī)電器件制造的電化學(xué)深刻蝕技術(shù).pdf
- 納秒脈寬脈沖電化學(xué)微加工機(jī)床關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 基于電化學(xué)刻蝕的微流控芯片模具制作.pdf
- 脈沖電化學(xué)及電化學(xué)機(jī)械齒輪光整與修形加工技術(shù)研究.pdf
- 16124.微萃取與電化學(xué)發(fā)光聯(lián)用技術(shù)研究
- 高溫合金GH4169的“電解-約束刻蝕”復(fù)合電化學(xué)加工研究.pdf
- 氨基硅油微乳廢水電化學(xué)預(yù)處理技術(shù)研究.pdf
- 脈沖電化學(xué)復(fù)合光整加工技術(shù)的研究.pdf
- 滾子軸承滾道凸度電化學(xué)砂帶磨削加工技術(shù)研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論