α-C-F薄膜的沉積、結(jié)構(gòu)與介電性質(zhì)研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩65頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、該文用微波電子回旋共振(ECR)等離子體化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)和CHF<,3>、C<,6>H<,6>源氣體的新組合沉積了F/C比在0.11-0.62之間的氟化非晶碳(α-C:F)薄膜材料.重點研究了微波功率的變化對薄膜沉積、氣體放電和薄膜結(jié)構(gòu)的影響,初步分析了薄膜的介電色散性質(zhì)和極化機理.薄膜的介電頻率關(guān)系(f=1×10<'3>-1×10<'6>Hz)和損耗頻率關(guān)系(=1×10<'2>-1×10<'5>Hz)均服從指數(shù)規(guī)律,隨頻率的

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論