光學(xué)表面輪郭功率譜密度對(duì)象質(zhì)的影響及干涉測(cè)試研究.pdf_第1頁(yè)
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1、南京理工大學(xué)博士學(xué)位論文光學(xué)表面輪郭功率譜密度對(duì)象質(zhì)的影響及干涉測(cè)試研究姓名：高志山申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：陳進(jìn)榜1999.12.1ABSTRACTThejnteferometrictestofmidfrequencyPSD(powerspectraldensity)foropticalsurfacesisanewquestionfordiscussionandrisenfrom1995inthefieldofmeas

2、urementwithinterferometryInthispaper，thetheoryofPSD，itseffectonimagequalityofopticalsystems，testofitwithainterferometerandcalibrationfundamentalforainterferometerhavebeensystemicallydoneTheexperimentdataand0liNeSalsohave

3、givenInfirstpart，thecalculationmodelofPSDfromsurfaceprofiledataissetupandthemethodtoevaluateopticalsurfaceswithPSDisalsogivenafteranalysisofPSD’sphysicalexplanationandtheuptodateinternationalstandardInsecondpart，thescatt

4、eringeffectonimagequalityofopticalsystemsbymidfrequencywavefronterrorinopticalsurfacesisstudiedwithopticaltransferfunction，pointspreadfunctionandencircledenergyInthirdpart，thespecificationsofopticalelementsinaninterferom

5、eterformeasurementmidfrequencyPSDarediscussedatfirstThen，afterdefinitionoffrequency—responsefunctionforaninterferometersomecontributionfactorstoitaresystemicallyanalyzedAtlast，thestrayfringesintheinterferometricpattemand

6、theireffectonmeasurementarediscussedInfourthpart，atfirst，thecalibrationmethodwithvariablefrequencysinusoidalphasegratingformedbytwoplanesurfacesfortestingtheinterferometer’sfrequencyresponsefunctionispointedout，andcalibr

7、ationexperimentsusingthismethodhavebeendoneforaphaseshiftinginterferometerEveryerrorSOUrCeSareanalyzedforthismethodSecondlythefeasibilitywithasteptocalibrationallinterferometerisalsomadestudyofTwonecessaryconditionsforas

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